Picture of Evaporation MEB 550SL (2018) (Ti, Ni, Au, Al, Ge, Cr, Pd, Pt)
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CMNF - Dépôts physiques
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Equipement sur badgeuse BCM depuis le 7 avril 2021

Ti, Ni, Au, Ge, Al, Pd, Pt, Cr

500nm max

Tool name:
Evaporation MEB 550SL (2018) (Ti, Ni, Au, Al, Ge, Cr, Pd, Pt)
Manufacturer:
Plassys
Model:
MEB 500SL

Equipement sur badgeuse BCM depuis le 7 avril 2021

Ti, Ni, Au, Ge, Al, Pd, Pt, Cr

500nm max

Non-uniformité dépôt <5% 6 pouces

Non-uniformité gravure <5% 4 pouces

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