12 cathodes 4 pouces en confocal
3 bouquets de 4 cathodes : 1 poste DC, 1 poste RF, 1 poste HIPIMS
DC, RF, HIPIMS
SAS avec cassette 5 places
Chargement et traitement individuel
Ar, O2, N2
Non-uniformité < 5% sur 4 pouces
Durée de dépôt en continu max 30min !
Utiliser des boucles pour déposer plus longtemps en incluant des pauses de refroidissement de 30min : n X (30min dépôt + 30min refroidissement).