Asher tool.
Gases: O2 (500 sccm), CF4 (10 sccm), N2 (50 sccm)
Power: 13.56 MHz, 1000 W
Pressure: 50 - 1000 mTorr
Chamber heating: 20 - 250 °C
Chuck heating: 20 - 250 °C
Equipement sur badgeus eBCM depuis le 15 novembre 2021