Changement de responsabilité au départ à la retraite de Dominique Vignaud.
Four de recuit 1200°C
Gaz : CH4, H2
Vide primaire
Typical conditions on Cu : 980°C - 1050°C (10-100 sccm Ar,1-200 sccm H2, 1-20 sccm CH4, 10-20 Torr)